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GMP凈化車間
GMP凈化車間

一.概述

GMP凈化車間在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化工程公司所特別設計的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

二.GMP凈化車間的溫濕度控制

GMP凈化車間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。

濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。

三.要求

1、在建設無塵潔凈廠房時候,建筑平面和空間布局應具有適當的靈活性,潔凈區的主體結構不宜采用內墻承重。

2、無塵潔凈廠房主體結構的耐久性應與室內裝備、裝修水平協調,并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。

3、潔凈廠房的潔凈區內設置技術夾層或技術夾道,用以布置風管和各種管線。

4、無塵潔凈廠房的潔凈區內通道應有適當寬度,以利于物料運輸、設備安裝、檢修等。

5、潔凈廠房工程應按《建筑設計防火規范》的要求調協安全出口,滿足人員疏散距離要求。

6、放射性藥品生產廠房應符合關于輻射防護的有關規定。

7、潔凈廠房室內裝修應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。

8、無塵潔凈室墻壁和頂棚的表面應無裂縫、光潔、平整、不起灰、不落塵土、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗、避免眩光(如采用瓷釉漆涂層墻面和金屬隔熱夾芯板),陰陽角均宜做成圓角,以減少灰塵積聚和便于清潔。

9、無塵潔凈室地面要求整體性好,平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐撞擊、不易積靜電、易除塵清洗(如采用環氧自流平整地坪或現澆水磨石地面)。

10、潔凈室的門窗造型要簡單、平整、不易積塵、易于清洗,密封性能好。門窗不應采用木質等引起微生物繁殖的材料,以免生霉或變形。門窗與內墻宜平整,不應設門檻,不留窗臺。潔凈室內的門寬度應能滿足一般設備安裝、修理、更換的需要。氣閘室、貨淋室的出入門應有不能同時打開的措施。

11、潔凈廠房每層高度應滿足潔凈室操作面凈高和技術夾層布置管線要求的凈空高度。

12、潔凈廠房工程需在技術夾層內更換高效過濾器的技術夾層墻面、頂棚宜刷涂料飾面。

13、送風道、回風道、回風地溝的表面裝修應與整個送、回風系統相適應,并易于除塵。

14、潔凈廠房應有防止昆蟲和其他動物進入的措施。

15、無塵潔凈室安裝的水池、地漏不得對產品生產產生污染。




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