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無塵室它是污染控制的基礎

編輯:江蘇華凈凈化科技有限公司時間:2019-05-23

    無塵室亦稱為無塵室或清凈室。它是污染操控的根底。操控空氣懸浮微粒濃度,從而到達適當的微粒潔凈度等級。無塵室是指將必定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物掃除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振蕩及照明、靜電操控在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。

    無塵室中不管外在之空氣條件如何改變,其室內均能俱有保持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等功能之特性。

    無塵室主要之作用在于操控產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個杰出之環境空間中生產、制造,此空間咱們稱之為無塵室。按照世界慣例,無塵凈化等級主要是依據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規范的粒子數量來規定。也便是說所謂無塵并非沒有一點塵埃,而是操控在一個非常微量的單位上。當然這個規范中符合塵埃規范的顆粒相關于咱們常見的塵埃已經是小的微乎其微,可是關于光學結構而言,哪怕是一點點的塵埃都會發生非常大的負面影響,所以在光學結構產品的生產上,無塵是必然的要求。

    如表所示,每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量操控在3500個以下,就到達了世界無塵規范的A級。應用在芯片級生產加工的無塵規范關于塵埃的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格操控在每立方米1000個以內,這也便是業界俗稱的1K等級。

    以上是小編給咱們講述的無塵室它是污染操控的根底,咱們能夠簡略的了解看看,需要咨詢的能夠聯絡咱們。


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